無塵車間潔凈度等級(jí)要求【行業(yè)應(yīng)用示例】

　　目前，潔凈車間已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同，使用要求不同，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標(biāo)均不會(huì)相同。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng)、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無塵車間的設(shè)計(jì)不僅要求對(duì)室內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)，還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當(dāng)帶來的污染，有的無塵車間還要求供給純水、純氣體和高純的化學(xué)品等。

　　1、半導(dǎo)體集成電路要求的空氣潔凈度等級(jí)

　　集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級(jí)主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級(jí)是依據(jù)可能污染的概率和對(duì)器件的潛在故障確定的。

　　舉例說明：

　　例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.

　　無塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求：

　　光刻、勻膠區(qū) ISO 3級(jí)

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 3級(jí)

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 5級(jí)

　　例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

　　無塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求：

　　光刻、勻膠區(qū) ISO 3級(jí)

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 4級(jí)

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 6級(jí)

　　2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)

　　隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級(jí)和控制無塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級(jí)或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運(yùn)行的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)確定設(shè)計(jì)建造無塵車間的空氣潔凈度等級(jí)。

　　舉例說明：

　　例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無塵車間，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點(diǎn)。

　　各無塵車間空氣潔凈度等級(jí)，控制粒子粒徑為0.3um

　　清洗、涂膠、曝光間 ISO 4級(jí)

　　顯影、刻蝕間 ISO 5級(jí)

　　成盒間 ISO 5級(jí)

　　濺射、CVD間 ISO 6級(jí)

　　例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um

　　各無塵車間的空氣潔凈度等級(jí)要求

　　涂布頭 ISO 5級(jí)

　　備件、切帶、帶基、測(cè)試、涂布間和烘干、固化間 ISO 6級(jí)

　　組裝、維修間和部分原料庫(kù) ISO 7級(jí)

　　砂磨、化驗(yàn)間和配件間 ISO 8級(jí)

　　成品庫(kù)和部分原料庫(kù) 準(zhǔn)潔凈間

　　3、精密機(jī)械、精細(xì)化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)

　　例一、一個(gè)陀螺儀生產(chǎn)用無塵車間

　　無塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求

　　裝配間 ISO 6級(jí)

　　軸承加工間 ISO 5級(jí)

　　例二、一個(gè)感光膠片生產(chǎn)用無塵車間

　　流延機(jī)頭部，涂布機(jī)頭部 ISO 5級(jí)

　　涂布室，流延機(jī)室 ISO 6級(jí)

   凈化設(shè)備有限公司位于浙江省紹興市上虞區(qū)道墟鎮(zhèn)，是華東地區(qū)凈化設(shè)備行業(yè)中的制造商之。可按ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)、GB50073-2001國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)家GMP規(guī)范要求為微電子、生物醫(yī)藥、醫(yī)院手術(shù)室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導(dǎo)體及新材料應(yīng)用等行業(yè)的空氣凈化系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)、施工、檢測(cè)及技術(shù)服務(wù)。
   公司主營(yíng)凈化工作臺(tái)系列、風(fēng)淋室系列、通風(fēng)柜系列，生物安全柜系列被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療衛(wèi)生、電子、制藥、生物、食品、農(nóng)林、畜牧獸醫(yī)、檢驗(yàn)檢疫、航空航天、汽車制造、精密儀器、大專院校和各科研機(jī)構(gòu)，在和東南亞市場(chǎng)享有高的聲譽(yù)。
   凈化設(shè)備有限公司竭誠(chéng)為的消費(fèi)者和經(jīng)銷商服務(wù)，將以的產(chǎn)品；人性化的服務(wù)；低廉的；熱誠(chéng)歡迎您的加盟！