凈化工作臺及過濾器在芯片廠中的應用

　　凈化工作臺及過濾器在芯片廠中的應用
 

　　我們都知道粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接影響一些配件產品的成品率。當今，半導體工業(芯片廠)對生產環境空氣潔凈程度高挑剔，對空氣過濾器的要求也苛刻，生產操作基本都是在潔凈工作室中凈化工作臺中操作。
 

　　衡量芯片集成度的指標之一是“線寬”，即電路上導線的寬度。在以微米計算線寬的年代，人們說制造環境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的 1/10，隨著線寬不斷變小，1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm，此時任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線寬的傳統比較已經過時了。
 

　　芯片廠傳統的通風形式是“大循環”，車間的整個天花板上布滿過濾器，整個地面為回風柵板。現在芯片廠有些車間使用自帶風機的過濾裝置， 即FFU。大循環和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。
 

　　不論是普通過濾器還是FFU，出廠前都要經過逐臺掃描測試。目前沒有掃描測試方法標準，能擠進芯片廠的過濾器是按歐美標準對過濾器進行掃描測試的。芯片廠的人認為，過濾器傳統檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
 

　　空氣中的海鹽粒子是所有電子工業的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大， 普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業的理想地點應該遠離海岸，可沿海地區經濟發達，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區，在過濾器上多花點錢就是了。20世紀90年代初，曾對過濾器玻纖濾紙的含硼問題爭吵了一陣，隨后，過濾器的微量揮發元素成了芯片廠關注的事情。近幾年，出現了聚四氟乙烯纖維過濾材料，這種材料沒有揮發物，但它是帶靜電的“駐體”，少了個隱患，多了個麻煩，過濾后的空氣要進行電中和以消除空氣中的離 子。目前這種材料的偏高，大部分過濾器仍使用玻璃纖維濾紙。凈化工作臺的過濾器上可能的微量揮發元素主要來源于粘結劑和清洗劑，為芯片廠供貨的過濾器廠商要在這上面下些功夫。